국내 처음으로 자외선(UV) 발광다이오드(LED)를 광원으로 채택한 노광기를 개발

중견 장비기업이 국내 처음으로 자외선(UV) 발광다이오드(LED)를 광원으로 채택한 노광기를 개발했다. 해외 장비에 의존하던 초미세패턴용 노광 공정에 국산 장비를 적용할 수 있는 길이 열렸다.


                                         
 

필옵틱스(대표 한기수)는 UV LED를 광원으로 채택해 10마이크로미터(㎛) 수준 미세회로 패턴도 형성할 수 있는 노광기를 개발, 국내 첫 상용화에 성공했다고 5일 밝혔다. 

이 노광기는 인쇄회로기판(PCB) 등에 패턴을 형성하는 공정에 사용되는 장비다. PCB용 노광기는 주로 수은 램프를 사용해왔으나, 필옵틱스는 평행광 광원을 LED로 대체하는 기술을 개발해 장비를 내놓았다. 이 장비는 10㎛ 이내 해상력을 가진 365나노미터(㎚) 파장대 UV LED를 평행광원으로 사용해 스마트폰용 PCB 등 미세회로 패턴 형성에 적합하다. 

이번 개발로 초미세패턴이 필요한 노광 공정도 국산화가 이뤄졌다. 그동안 일본 등 해외 2~3개 기업의 장비가 주로 사용됐으며, 국산 노광기 대부분은 산란광 방식이어서 50㎛이하 미세 패턴을 구현하는 데 한계가 있었다. 

평행광 LED 노광기는 기존 UV 수은램프를 사용하는 노광기에 비해 전력소모량을 70%가량 줄일 수 있는 것도 장점이다. 램프수명이 사용조건에 따라 수은램프보다 최소 10배에서 최대 100배까지 유지되기 때문에 램프 교체를 위한 유지보수 비용도 절감할 수 있다. 

필옵틱스는 LED 광원 노광 기술을 2013년 첫 개발한 이후, 상용화를 위해 연구개발을 지속했다. 최근 리드프레임 업체 등으로부터 승인을 받고 국내외 기업에 공급을 시작했다.

이 회사는 미나마타 협약에 따라 2020년부터 전 세계적으로 수은 규제가 본격화될 것으로 보고, LED 광원 노광 장비 수요도 대폭 늘어날 것으로 전망했다. 적용범위도 디스플레이 장비 등으로 넓혀갈 계획이다. 특히 광학 성능 향상을 위해 광각 보정 방법과 마스크 처짐량 교정 방법 등 독자 기술이 주목받고 있어, 디스플레이 분야에서도 성과가 나올 것으로 기대했다. 

한기수 대표는 “LED 노광 기술을 TFT LCD 컬러 필터 등 디스플레이용 노광 장비에도 추가 적용하면서 응용 범위를 점차 전 노광 장비로 넓혀가고 있다”며 “LED 광원뿐만 아니라 시스템의 성능 향상을 위한 독자 기술을 사용하기 때문에 디스플레이 업계에서도 주목하고 있다”고 설명했다.

문보경 기자 : okmun@etnews.com