2020년도 초절전LED융합기술개발사업 신규지원 대상과제 공고 산업통상자원부 공고 제2020-33호 2020년도 초절전LED융합기술개발사업 신규지원 대상과제 공고 초절전LED융합기술개발사업의 2020년도 신규지원 대상과제를 다음과 같이 공고하오니, 수행하고자 하는 자는 신청하여 주시기 바랍니다. 2020년 1월 15일 산업통상자원부장관 < 목 차 > 1. 사업.. ◘ SUNNANO 2020.01.29
7나노 이후의 양산용 EUV 노광기술 동향 (5나노 3나노 등) 7나노 이후의 양산용 EUV 노광기술 동향 (5나노 3나노 등) 첨단 로직 반도체 양산을 위한 EUV(Extreme Ultra-Violet:극 자외선) 노광 기술의 미래 그림이 드러났다. 7nm세대 기술 노드부터 양산을 올해(2019년)를 시작으로 2년~3년의 간격으로 차세대 기술 노드로 이행한다. 즉 5nm세대의 양산 개시는 2021.. ◘ SUNNANO 2019.11.12
국내 처음으로 자외선(UV) 발광다이오드(LED)를 광원으로 채택한 노광기를 개발 중견 장비기업이 국내 처음으로 자외선(UV) 발광다이오드(LED)를 광원으로 채택한 노광기를 개발했다. 해외 장비에 의존하던 초미세패턴용 노광 공정에 국산 장비를 적용할 수 있는 길이 열렸다. 필옵틱스(대표 한기수)는 UV LED를 광원으로 채택해 10마이크로미터(㎛) 수준 미세회로 패턴도 .. ◘ SUNNANO 2019.11.12
노광기 관련 스크랩 자료 디지털 노광장비 핵심 기술 개발 차종환 기자 승인 2016.12.16 18:01 1] 노광기 란? : 자외선을 이용한 미세패턴 노광과 경화를 위한 장치입니다. 2] 노광기 종류 2]-1. UV Lamp 자외선 노광기 2]-2. UV LED 노광기 2]-3. 편광 노광기 2]-4. 경사노광기 2]-5. 스캔노광기 정부와 국내 대·중소기업 및 학계가 .. ◘ SUNNANO 2019.11.12